Teknoloġija tal-ipproċessar ta 'wejfer tas-silikon monokristallin

Tmigħ → Tidwib → Tkabbir ta' l-għonq → Tkabbir ta' l-ispallejn → Tkabbir isometriku → Tkabbir tad-denb
(1) Tmigħ: Poġġi l-materja prima tal-polysilicon u l-impuritajiet fil-griġjol tal-kwarz. It-tip ta 'impuritajiet jiddependi fuq it-tip N jew P tar-reżistenza. It-tipi ta 'impuritajiet huma boron, fosfru, antimonju u arseniku.
(2) Tidwib: Wara li żżid materja prima tal-polysilicon fil-griġjol tal-kwarz, il-forn tat-tkabbir tal-kristall għandu jingħalaq u jiġi evakwat, imbagħad jimtela b'argon ta 'purità għolja biex iżżomm ċertu medda ta' pressjoni, u mbagħad ixgħel il-qawwa tal-heater tal-grafita biex saħħan għat-temperatura tat-tidwib (1420 grad), il-materja prima tal-polysilicon hija mdewba.
(3) Tkabbir ta 'l-għonq: meta t-temperatura tat-tidwib tas-silikon tkun stabbli, għaddas bil-mod il-kristall taż-żerriegħa fit-tidwib tas-silikon. Minħabba l-istress termali meta l-kristall taż-żerriegħa jkun f'kuntatt mal-qasam tat-tidwib tas-silikon, se jiġu ġġenerati dislokazzjonijiet fil-kristall taż-żerriegħa, u dawn id-dislokazzjonijiet għandhom jiġu eliminati bit-tkabbir tal-għonq. It-tkabbir ta 'l-għonq huwa li jerfa' malajr il-kristall taż-żerriegħa 'l fuq, sabiex id-dijametru tal-kristall taż-żerriegħa mkabbar jitnaqqas għal ċertu daqs (4-6mm). Peress li l-linja tad-dislokazzjoni tifforma angolu mal-assi tat-tkabbir, sakemm l-għonq ikun twil biżżejjed, id-dislokazzjoni tista 'tikber barra mill-wiċċ tal-kristall, u tipproduċi kristall b'dislokazzjonijiet żero.
(4) Tkabbir ta 'l-ispalla: Wara li jitkabbar l-għonq irqiq, it-temperatura u l-veloċità tal-ġbid għandhom jitbaxxew sabiex id-dijametru tal-kristall jiżdied gradwalment għad-daqs meħtieġ.
(5) Tkabbir b'dijametru ugwali: Wara li l-għonq irqiq u l-ispallejn jitkabbru, id-dijametru tal-ingott jista 'jinżamm bejn plus jew minus 2mm billi taġġusta kontinwament il-veloċità u t-temperatura tal-ġbid. Il-parti b'dijametru fiss tissejjaħ parti isodiameter. Wejfers tas-silikon monokristallin jittieħdu minn sezzjonijiet b'dijametru ugwali.
(6) Tkabbir tad-denb: Wara li titkabbar il-parti ta 'dijametru ugwali, jekk l-ingott jiġi separat mill-wiċċ tal-likwidu immedjatament, l-istress termali jikkawża dislokazzjonijiet u linji taż-żlieq fl-ingott. Għalhekk, sabiex tiġi evitata din il-problema, id-dijametru tal-ingott għandu jitnaqqas gradwalment sakemm isir punt li jaqtgħu u jissepara mill-wiċċ tal-likwidu. Dan il-proċess jissejjaħ tkabbir tad-denb. L-ingott tal-kristall imkabbar jittella 'fil-kamra ta' fuq tal-forn biex jiksaħ għal perjodu ta 'żmien u mbagħad jittieħed biex jitlesta ċiklu ta' tkabbir.