X'inhi l-uniformità tad-depożizzjoni ta 'film irqiq?
L-uniformità tal-film irqiq tirreferi għall-konsistenza tad-distribuzzjoni tal-ħxuna tal-film irqiq madwar il-wejfer kollu. Uniformità tajba tfisser li l-ħxuna tal-film irqiq hija qrib ħafna f'kull pożizzjoni fuq il-wejfer.
X'inhuma t-tipi ta 'uniformità tal-film irqiq?
Ġeneralment, it-tipi li ġejjin huma kkunsidrati:
●Fit-wejfer uniformità: Uniformità fi ħdan wejfer wieħed.
●Wafer-to-wejfer uniformità: Uniformità bejn wejfers differenti.
●Lot-to-lott uniformità: Uniformità bejn lottijiet differenti ta 'wejfers.
Kif tiġi kkalkulata l-uniformità?
Meta tieħu l-uniformità ġewwa l-wejfer bħala eżempju, id-devjazzjoni standard tagħha hija kkalkulata bl-użu tal-formula:
Din il-formula tikkalkula l-għerq kwadru tal-medja tad-differenzi kwadri bejn kull punt tad-dejta u l-medja tad-dejta.
σ (devjazzjoni standard): Jirrappreżenta l-grad ta 'dispersjoni tad-dejta; iktar ma tkun kbira d-devjazzjoni standard, iktar ikun kbir id-dispersjoni.
N: In-numru totali ta' punti tad-dejta mkejla.
Ti: Il-valur tal-ħxuna tal-punt tad-data ith.
Jfisser: Il-valur medju tal-punti tad-dejta kollha.
(ti−Mean)^2: Id-differenza kwadrata bejn kull punt tad-dejta u l-medja.
∑: Sommazzjoni.
Il-formula hija kemmxejn diffiċli biex tinftiehem, għalhekk hawn eżempju:
Assumi li għandna sett ta 'punti tad-dejta tal-ħxuna tal-film irqiq: 55.1, 54.8, 55.3, 54.9, 55.0, 54.7, 55.2, 54.9, 55.1, 54.8.
●L-ewwel, ikkalkula l-medja ta' dawn l-10 punti: Medja=54.98.
●Imbagħad, ikkalkula d-differenza kwadrata bejn kull ħxuna u l-medja: {{0}}.0144, 0.0324, {{1{{12} }}}.1024, 0.0004, 0.0004, 0.0784, 0.0484, 0.0004, 0.0144, 0.0324.
●Żomm dawn id-differenzi kwadri u sib il-medja: (0.0144 + 0.0324 + 0.1024 + 0.0004 + 0.0004 + 0.{{6} }.0484 + 0.0004 + 0.0144 + 0.0324)=0.3996.
●Fl-aħħarnett, ikkalkula d-devjazzjoni standard: σ=0.193.
