Kif Pollakk Wejfers tas-Silikon

Preparazzjoni ta' qabel l-illustrar

Qabel ma jibda l-proċess attwali tal-illustrar, hemm diversi passi preparatorji importanti:

Tindif

Naddaf sewwa l-uċuħ tal-wejfers biex tneħħi kwalunkwe partiċelli residwi jew residwi kimiċi minn proċessi ta 'qabel bħall-lapping jew l-inċiżjoni. Il-kontaminazzjoni tista' twassal għal difetti fil-wiċċ waqt l-illustrar. Nirrakkomandaw tindif permezz ta':

SC-1 nadif- Idrossidu ta 'l-ammonju sħun, perossidu ta' l-idroġenu, u ilma fi proporzjon ta '1:1:5 f'75 grad għal 10 minuti

SC-2 nadif- Aċidu idrokloriku sħun, perossidu ta' l-idroġenu, u ilma fi proporzjon ta' 1:1:6 f'75 grad għal 10 minuti

Tlaħliħ ta' dump malajr (QDR)- Banjijiet multipli ta' ilma DI li jfur għal 2-3 minuti kull wieħed

Spezzjoni

Spezzjona bir-reqqa l-uċuħ tal-wejfers wara t-tindif bl-użu tal-modalità brightfield biex tivverifika għal:

Partiċelli jew tbajja' residwi

Fosos, grif, jew ħsara taħt il-wiċċ minn proċessi preċedenti

Difetti fiżiċi oħra bħal ċipep tat-tarf/xquq

Indirizza kwalunkwe kwistjoni f'dan l-istadju qabel illustrar biex tevita li d-difetti jiggravaw.

Applika Saff ta' Sostenn

Applika saff ta 'wara adeżiv fuq in-naħa ta' wara tal-wejfer biex tipprovdi appoġġ uniformi waqt il-lostru u tevita ħsara fuq in-naħa ta 'wara:

Applika 1-2 saffi ta' adeżiv li jitfejjaq UV

Kun żgur li tfejjaq kompletament qabel l-illustrar

Tabella 1. Saffi ta' rinforz rakkomandati

Tagħmir tal-illustrar

Kapaċitajiet ewlenin:

Veloċitajiet varjabbli tal-magħżel sa 120 rpm

Downforce/pressjoni programmabbli sa 8 psi

Monitoraġġ tat-torque f'ħin reali

Dispensing/tmigħ tad-demel likwidu awtomatizzat

Stazzjonijiet tat-tindif integrati wara l-lustrar

Illustrar Passi tal-Proċess

Il-passi ewlenin tal-illustrar huma deskritti hawn taħt:

Ipprepara/Ilbes Kuxxinett tal-Illustrar

Agħżel materjal tal-kuxxinett xieraq (ara r-rakkomandazzjonijiet aktar tard)

Kundizzjona pads ġodda permezz ta 'mili tad-djamanti

Qabel kull ġirja, dress pad b'diska tad-djamanti biex tiffriska l-wiċċ

Immonta Wejfer

Waħħal il-wejfer sew mal-ċokk/trasportatur tal-wejfer

Iċ-ċentru tal-wejfer kif suppost biex jiġi żgurat illustrar uniformi

Issettja l-Parametri tal-Proċess

Veloċità tal-magħżel -30-60 rpmtipiku

Pressjoni -3-5 PSItipiku

Rata ta' għalf tad-demel likwidu -100-250 ml/min

Tul tal-proċess - Jiddependi fuq it-tneħħija tal-materjal meħtieġa

Ibda Ċiklu tal-Illustrar

Ibda r-rotazzjoni tal-magħżel

Ħalli d-demel likwidu fuq iċ-ċentru tal-kuxxinett kontinwament

Tbaxxi l-wafer chuck u ingaġġa pad għal kull pressjoni stabbilita

Immonitorja t-torque matul il-proċess

Tindif ta' wara l-Pollakk

Tindif bir-reqqa wara l-illustrar huwa kritiku biex jitneħħew ir-residwi u jiġu minimizzati d-difetti:

Nadif primarju- Xkupilja uċuħ tal-wejfer tal-għorik b'soluzzjonijiet ibbażati fuq idrossidu tal-ammonju jew aċetat

Nadif sekondarju- Dip qasir f'HF jew soluzzjonijiet oħra ta 'aċidu biex jitneħħew ir-residwi kimiċi

QDR - Banjijiet ta' overflow multipli għal 3-5 minuti kull wieħed

Spezzjona wejfers lesti mill-ġdid wara t-tindif. Aħdem mill-ġdid/illustra mill-ġdid kwalunkwe qasam meħtieġ qabel ma tipproċedi għall-passi tal-proċess li jmiss.

Ottimizzazzjoni tal-Proċess tal-Illustrar tal-Wejfer tas-Silikon

Hemm diversi parametri ewlenin li jistgħu jiġu rranġati biex jiġi ottimizzat il-proċess tal-illustrar tal-wejfer:

Applikata Downforce/Pressjoni

Pressjoni ogħla żżid ir-rata tal-illustrar/tneħħija tal-materjal

Wisq pressjoni twassal għal arrotondament tat-tarf, mikroxquq

3-5 psi ottimali għal ħafna applikazzjonijiet

Veloċità ta 'Rotazzjoni

Iżżid it-temperatura fl-interface pad-wejfer

Veloċitajiet ogħla jżidu r-rata tal-illustrar sa punt

30-60 rpmadattat għall-biċċa l-kbira tal-proċessi tal-lott

Materjali tal-kuxxinett

L-għażla tal-materjal tal-kuxxinett taffettwa fatturi ewlenin bħar-rata tal-illustrar, il-finitura tal-wiċċ, u l-livelli tad-difetti:

Tabella 2. Tqabbil tal-Materjal Pad

Il-pads artab jinqatgħu aktar malajr iżda jispiċċaw mhux daqshekk bla xkiel

Kuxxinetti iebsin illustrar aktar bil-mod u tleqqija ogħla

Proċessi f'diversi stadji ideali bl-użu ta 'kuxxinett finali aktar diffiċli

Ottimizzazzjoni tad-demel likwidu

Ibbilanċjar kontenut li joborxu/kimika/pH/rata tal-fluss kritika

Ifassal il-formulazzjonijiet tad-demel likwidu għall-applikazzjoni u l-materjal tal-kuxxinett

Kontinwament ittestja u ttejjeb id-demel likwidu tagħna għal riżultati ottimali

Analiżi ta' wara l-Illustrar

L-evalwazzjoni u l-analiżi tal-kwalità tal-wejfer wara l-lustrar huma imperattivi biex jiġi żgurat li l-ispeċifikazzjonijiet jintlaħqu u jiġi identifikat it-titjib tal-proċess. Analiżi ewlenin jinkludu:

Ħruxija tal-wiċċ

Kejjel Ra, RMS, PSD, u data HF

Tissorvelja l-figura/il-flatness ta' wavelength twil

Identifika grif, fosos, partiċelli, illustrar addizzjonali meħtieġa

Ħxuna tal-Film

Ikkonferma t-tneħħija tas-saff(i) tal-ħxuna meħtieġa

Iċċekkja l-uniformità tal-ħxuna fuq il-wiċċ tal-wejfer

Livelli ta' ċpar

Kejjel ċpar % u distribuzzjoni

Tiżgura ħsara residwa minima fil-wiċċ skont l-ispeċifikazzjonijiet tal-applikazzjoni

Spezzjoni ta' Difetti

Uża brightfield, darkfield, eċċ biex tikxef difetti li fadal

Qabbel il-livelli/tipi ta' difetti qabel u wara l-lustrar

Dejta ta 'feedback biex taġġusta l-kuxxinett, id-demel likwidu, il-parametri

L-għodod tal-metroloġija integrata tagħna jipprovdu kapaċitajiet analitiċi komprensivi għall-aħjar kontroll tal-proċess.

Finish tal-wiċċ

Disturbi fil- ġilda u fit-< 1 angstrom possibbli

RMS< 2 angstroms speċifikazzjoni tipika

Minimizza l-mikroroughness permezz tal-ottimizzazzjoni tal-proċess

Varjazzjoni tal-Ħxuna Totali (TTV)

TTV < 1 um madwar id-dijametru tal-wejfer li jista' jintlaħaq faċilment

TIR < 3 ark-sec fuq ottiċi kbar fattibbli

Intwera uniformità tal-ħxuna sub-nanometru

Densitajiet tad-Difetti

Żero nano-grif permezz ta 'kundizzjonar tal-kuxxinett, ottimizzazzjoni tal-għalf

< 5 defects/cm^2 over large areas

Sejbien u minimizzazzjoni tal-partiċelli sa<0.1 um

Ikkuntattja lit-tim tal-inġinerija tagħna biex tirrevedi r-rekwiżiti tekniċi tiegħek u aħna nfasslu proċess komprensiv tal-illustrar biex nissodisfaw anki l-ispeċifikazzjonijiet l-aktar stretti.