Wara li l-wejfer ikun għadda mill-proċess ta 'quddiem, il-preparazzjoni taċ-ċippa titlesta, u jeħtieġ li tinqata' biex tissepara ċ-ċipep fuq il-wejfer u finalment ippakkjat; barra minn hekk, hemm ukoll xi proċessi u testijiet li jeħtieġu li s-sottostrat tal-wejfer tas-silikon pur jinqata 'f'biċċiet kwadri żgħar għall-użu.
Id-differenza bejn film UV u film blu
Qabel it-tqattigħ tal-wejfer, saff ta 'film se jkun inkollat fuq wara tal-wejfer. Il-funzjoni ta 'dan is-saff ta' film hija li twaħħal iċ-ċippa mal-film, li tista 'żżomm il-qamħ intatt matul il-proċess tat-tqattigħ u tnaqqas il-problemi ta' ksur, spostament u waqgħa matul il-proċess tat-tqattigħ.
Fil-produzzjoni attwali, il-film użat biex jiffissa wejfers u ċipep ġeneralment juża film UV jew film blu.
Film UV: prinċipalment użat fil-proċess ta 'traqqiq tal-wejfer;
Film blu: prinċipalment użat fil-proċess tad-dicing tal-wejfer;
Figura 1. Karatteristiċi tal-films UV u blu Films UV u blu
Kemm il-film UV kif ukoll il-film blu huma twaħħal. Il-grad ta 'twaħħil huwa ġeneralment espress bil-grad ta' tqaxxir li jwaħħal, ġeneralment f'unitajiet ta 'N/20 mm jew N/25 mm. 1 N/20 mm tfisser li l-istrixxa tat-test hija wiesgħa 20 mm u l-forza meħtieġa biex titqaxxar mill-bord tat-test f'angolu ta 'tqaxxir ta' 180 grad hija 1 N.
Il-film UV huwa kisi speċjali applikat fuq il-wiċċ ta 'sottostrat tal-film tal-PET biex jimblokka dawl ultravjola u dawl viżibbli ta' tul ta 'mewġ qasir. Il-Figura 2 hija dijagramma ġenerali tal-istruttura tal-film UV.
Ġeneralment, film UV jikkonsisti fi tliet saffi. Il-materjal bażi huwa polyvinyl chloride, is-saff li jwaħħal huwa fin-nofs, u l-film tar-rilaxx huwa maġenb is-saff li jwaħħal. Xi mudelli tal-film UV m'għandhomx dan il-film tar-rilaxx.
Figura 2. Struttura tal-film UV
Film UV normalment jissejjaħ tejp ta 'irradjazzjoni ultravjola. Huwa relattivament għali u għandu perjodu ta' validità qasir meta ma jintużax. Huwa maqsum fi tliet tipi: viskożità għolja, viskożità medja u viskożità baxxa.
Il-viskożità tal-film UV ta 'viskożità għolja hija 5000mN/20mm ~ 12000mN/20mm qabel l-irradjazzjoni ultravjola. Wara l-irradjazzjoni ultravjola, il-viskożità tat-tqaxxir hija taħt 1000mN/20mm;
Il-viskożità tat-tqaxxir tal-film UV b'viskożità baxxa hija madwar 1000mN / 20mm qabel l-irradjazzjoni ultravjola. Wara l-irradjazzjoni ultravjola, il-viskożità tat-tqaxxir tinżel għal madwar 100mN/20mm.
Wara l-irradjazzjoni ultravjola, ma jkun hemm l-ebda kolla residwa fuq il-wiċċ tal-wejfer tal-film UV ta 'viskożità baxxa, u l-qamħ huwa faċli biex jitneħħa.
Il-film UV għandu espansjoni xierqa, u l-ilma mhux se jippenetra bejn il-qamħ u t-tejp matul il-proċess tat-tnaqqija u t-tqattigħ.
Film blu normalment jissejjaħ tejp ta 'grad elettroniku. Huwa relattivament irħis. Huwa film blu b'viskożità kostanti. Il-grad tat-tqaxxir tal-viskożità tiegħu huwa ġeneralment 100 ~ 3000mN/20mm. Se tipproduċi kolla residwa minħabba l-influwenza tat-temperatura. B'kuntrast, il-film UV huwa aktar stabbli u għandu inqas kolla residwa minn film blu.
Meta mqabbel mal-film blu, il-film UV għandu vantaġġi kbar minħabba l-grad ta 'tqaxxir tal-viskożità varjabbli tiegħu. Il-funzjonijiet ewlenin tagħha huma: li tiffissa l-wejfer waqt it-tnaqqija tal-wejfer; biex tipproteġi ċ-ċippa waqt it-tqattigħ tal-wejfer biex tevita li taqa 'jew tkisser it-tarf; biex taqleb u tittrasporta l-wejfer biex tevita li ċ-ċippa diġà mqatta 'taqa'.
L-istandardizzazzjoni tal-użu ta 'diversi parametri ta' film UV u film blu, u l-għażla ta 'film UV jew film blu xieraq skont it-teknoloġija tal-ipproċessar meħtieġa miċ-ċippa tista' tiffranka l-ispejjeż u tikkontribwixxi għall-iżvilupp industrijali taċ-ċipep.
Blade dicing jew xafra isserrar
Minħabba l-frizzjoni kbira waqt it-tqattigħ, l-ilma DI (ilma dejonizzat) għandu jiġi sprejjat kontinwament mid-direzzjonijiet kollha. Barra minn hekk, l-impeller għandu jitwaħħal ma 'partiċelli tad-djamanti sabiex ikun jista' jitqatta' aħjar.
F'dan iż-żmien, il-qatgħa (ħxuna tax-xafra: wisa 'tal-kanal) għandha tkun uniformi u m'għandhiex teċċedi l-wisa' tal-kanal tal-iskribu. Għal żmien twil, is-serrar kien l-aktar metodu ta 'qtugħ tradizzjonali użat, u l-akbar vantaġġ tiegħu huwa li jista' jaqta 'numru kbir ta' wejfers fi żmien qasir.
Madankollu, jekk il-veloċità tat-tmigħ tal-porzjon tiżdied ħafna, tiżdied il-possibbiltà tat-tarf tat-tqaxxir taċ-ċippa żgħira. Għalhekk, in-numru ta 'rotazzjoni ta' l-impeller għandu jiġi kkontrollat f'madwar 30,000 darba fil-minuta.
Ottimizzazzjoni tax-xafra
Biex tieħu sfidi ġodda tat-tqattigħ, hija meħtieġa kollaborazzjoni bejn is-sistemi tat-tqattigħ u x-xfafar. Dan hu veru speċjalment għal applikazzjonijiet high-end.
Ix-xafra għandha rwol ewlieni fl-ottimizzazzjoni tal-proċess. Minbarra d-daqs, tliet parametri ewlenin jiddeterminaw il-karatteristiċi tax-xafra: id-daqs tad-djamanti (abrasiv), il-kontenut tad-djamanti u t-tip ta 'binder.
Il-binder huwa matriċi ta 'diversi metalli u/jew abrażivi tad-djamanti mqassma fiha. Fatturi oħra, bħar-rata tal-għalf u l-veloċità tal-magħżel, jistgħu wkoll jaffettwaw l-għażla tax-xafra.