Wejfers magħmula minn silikon fuq iżolatur (SOI) huma prodotti bl-użu ta 'tliet metodi primarji: trasferiment ta' saff epitassjali, SOI magħqud, u silikon fuq iżolatur. Kull teknika għandha ċerti vantaġġi u benefiċċji tagħha stess.
L-ewwelnett, jista 'jinħoloq saff ta' silikon fuq saff iżolanti, tali dijossidu tas-silikon, bl-użu tat-teknika tas-silikon fuq iżolatur. B'dan il-metodu, is-saff ta 'fuq tas-silikon u s-sottostrat sottostanti huma separati minn saff ta' ossidu midfun li jinħoloq permezz ta 'impjantazzjoni tal-joni. Dan il-metodu jaħdem tajjeb speċjalment għall-produzzjoni ta 'wejfers b'konduttività termali eċċellenti u saffi omoġenji.
It-tieni, saff irqiq ta 'silikon premium huwa magħqud fuq sottostrat iżolatur bl-użu tal-proċess SOI magħqud. Dan jitwettaq billi jitwaħħal saff irqiq ta 'silikon fuq sottostrat wara li jkun inħoloq permezz ta' impjantazzjoni tal-joni jew tkabbir epitassjali. Dan il-proċess jagħmilha possibbli li jinħolqu ċirkwiti integrati ħafna u huwa perfett għall-produzzjoni ta 'wejfers bi ħxuna speċifika.
Fl-aħħar nett, metodu ieħor għall-produzzjoni ta 'wejfers SOI huwa t-trasferiment tas-saff epitassjali. Bl-użu ta 'tekniki ta' tkabbir epitassjali, saff irqiq ta 'silikon huwa ffurmat fuq sottostrat donatur f'dan il-proċess. Sussegwentement, dan is-saff huwa marbut ma 'sottostrat iżolanti permezz ta' illustrar mekkaniku kimiku u twaħħil tal-wejfer. Wejfer SOI superjuri b'karatteristiċi elettriċi eċċezzjonali huwa l-prodott finali.
